ARAGO 21 MICROSYSTÈMES

Rapport de synthèse du Groupe Arago 21 "Microsystèmes" de l'Observatoire Français des Techniques Avancées (Juin 1999)

La diffusion des techniques de conception et de fabrication de la microélectronique a permis le développement de nouveaux dispositifs miniaturisés plus complexes et de plus en plus intégrés, appelés microsystèmes.

Les dix à quinze premières années ont été surtout consacrées au développement de microcapteurs intégrant le transducteur et l’électronique de traitement. Depuis quelques années, le champ d’études et de développement s’est étendu aux microactionneurs, micromoteurs, micropompes et microvalves, micro-instruments optomécaniques, éléments de base des microsystèmes.

L’utilisation, au stade de la conception, de méthodes de modélisation qui s’affinent de plus en plus, accroît la robustesse des microsystèmes étudiés et favorise ainsi leur dissémination dans de nombreux domaines. Parmi les applications, les plus importantes sont les périphériques informatiques, les microcapteurs intégrés, les applications à la médecine, à la biologie et la génomique, à l’environnement, aux transports terrestres et aériens, les applications militaires et spatiales, et d’autres encore à explorer.

Ce livre, rapport de synthèse du Groupe de travail " Microsystèmes " de l’Observatoire Français des Techniques Avancées, montre comment les technologies de la microélectronique ont influencé les concepts physiques et les techniques de miniaturisation des composants mécaniques et optiques. Il explique également comment a été prise en compte l’approche " système intégré " dans des applications hétérogènes complexes. La nécessité d’une masse et d’un volume faibles, d’une moindre consommation d’énergie, d’une intégration poussée de l’électronique associée, font des microsystèmes une réponse scientifique et technique nouvelle à de nombreux problèmes concernant l’ensemble des activités humaines.

La diversité des exemples présentés dans cet ouvrage montre l’impact des microsystèmes et laisse envisager une diffusion très rapide dans tous les secteurs d’activité.

Coordinateur du Groupe : Daniel HAUDEN,

Professeur à l’Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques, Directeur du Laboratoire de Physique et Métrologie des Oscillateurs, CNRS, Besançon

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